زرع الأيونات والنقش بالبلازما

تُستخدم منتجات الجرافيت من SIAMC على نطاق واسع في معدات زرع الأيونات وحفر البلازما نظرًا لمقاومتها الممتازة للحرارة، والتوصيل الحراري، ومحتوى الشوائب المنخفض، ومقاومة التآكل بواسطة الحزم الأيونية.

في زرع الأيونات، يتم استخدام الجرافيت عالي النقاء في أنابيب الطيران، والشقوق المختلفة، والأقطاب الكهربائية، وأغطية الأقطاب الكهربائية، والقنوات، ووحدات إنهاء الشعاع.يجب أن تكون هذه المكونات مقاومة للتآكل الناجم عن الحزم الأيونية.

في النقش بالبلازما، تتعرض مكونات غرفة تفاعل البلازما لغاز النقش، والذي يمكن أن يسبب التلوث والتآكل.ومع ذلك، فإن الجرافيت مقاوم للتآكل في ظل ظروف العمل القاسية مثل القصف الأيوني أو البلازما، مما يجعله مادة مثالية لمكونات معدات حفر البلازما، مثل أقطاب الجرافيت.

توفر منتجات الجرافيت عالية الجودة من SIAMC أداءً وموثوقية ممتازين لمعدات زرع الأيونات وحفر البلازما، مما يضمن جودة وكفاءة معالجة أشباه الموصلات.