برنامج التحصين الموسع (EPI) وMOCVD

تُستخدم مكونات الجرافيت والمواد العازلة من SIAMC على نطاق واسع في المعدات الفوقي لأشباه الموصلات نظرًا لخصائصها الحرارية والميكانيكية الممتازة.في عمليات النمو الفوقي، يتم استخدام الجرافيت عالي النقاء لمكونات مفاعل الجدار الساخن مثل السخان، والمستقبل، وحاقن الغاز، ولوحة توزيع الغاز.يضمن محتوى الشوائب المنخفض لمنتجات الجرافيت من SIAMC درجة نقاء عالية للعملية ويقلل من توليد الجسيمات أثناء المعالجة بدرجة حرارة عالية.

بالإضافة إلى ذلك، يتم استخدام المواد العازلة من SIAMC للعزل والحفاظ على الحرارة في المعدات الفوقي للحفاظ على درجة حرارة العملية العالية وتقليل فقدان الحرارة.تتميز هذه المواد بخصائص عزل حراري ممتازة ومقاومة درجات الحرارة العالية، مما يضمن التشغيل المستقر والفعال للمعدات.

بشكل عام، تلعب مكونات الجرافيت والمواد العازلة من SIAMC دورًا حاسمًا في ضمان جودة وإنتاجية عمليات النمو الفوقي، مما يجعلها ضرورية لتصنيع أشباه الموصلات.